【摘 要】
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采用磁控溅射工艺,在304不锈钢表面沉积CrN薄膜。分析了不同靶电流对膜层表面形貌和相结构的影响,测试其接触电阻及耐腐蚀性能。结果表明：表面改性后的不锈钢双极板导电性良好
【机 构】
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装备再制造技术国防科技重点实验室,北京100072
【出 处】
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2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议
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采用磁控溅射工艺,在304不锈钢表面沉积CrN薄膜。分析了不同靶电流对膜层表面形貌和相结构的影响,测试其接触电阻及耐腐蚀性能。结果表明：表面改性后的不锈钢双极板导电性良好,在质子交换膜燃料电池电堆的组装力范围内,与Toray碳纸的接触电阻为22.65-24mΩ/cm2。双极板的耐腐蚀性能相对于未处理的304不锈钢基体有了显著的增强：在80℃的0.05mol/L H2SO4+2mg/LF-的模拟电池环境腐蚀溶液中,改性后双极板的腐蚀电流为0.5×10-6A/cm2,比304不锈钢小1个数量级。X射线衍射分析表明：涂层相组成主要为CrN(200),(220)和(311)峰。
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