【摘 要】
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In this paper, tricobalt tetraoxide (Co3O4) film built with utra-small particles were deposited on the polydimethyl-siloxane (PDMS) surface by the plasma-enhanced metal-organic chemical vapor depositi
【机 构】
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Key Laboratory of Advanced Textile Materials and Manufacturing Technology, and Engineering Research
【出 处】
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第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会
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In this paper, tricobalt tetraoxide (Co3O4) film built with utra-small particles were deposited on the polydimethyl-siloxane (PDMS) surface by the plasma-enhanced metal-organic chemical vapor deposition technique (PEMOCVD).The crystal structure of Co3O4 was achieved by post-treatment with argon (Ar) and oxygen (O2) plasmas at room temperature.
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