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Uniform Film of Large Areas Deposited by Magnetron Sputtering with a Small Target
【机 构】
：
Center for Composite Materials, Harbin Institute of Technology, P.O.Box 3010, Yikuang Street 2, Harb
【出 处】
：
The 11th International Workshop on Plasma-Based Ion Implanta
【发表日期】
：
2011年期
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