【摘 要】
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本文提出了一种新型低频电容传声器的结构,并具体阐述了其理论建模及制作工艺。该电容式低频传声器采用各向异性体刻蚀单晶硅作为振动膜,具有低频灵敏度高、频率响应平坦的特
【机 构】
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中国科学院声学研究所声学微机电实验室;
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本文提出了一种新型低频电容传声器的结构,并具体阐述了其理论建模及制作工艺。该电容式低频传声器采用各向异性体刻蚀单晶硅作为振动膜,具有低频灵敏度高、频率响应平坦的特点。通过声电等效电路建模,对该传声器性能进行了理论分析,并根据理论分析结果对传声器结构进行设计和优化。测试结果和理论计算的符合程度很好。总之,采用该结构的低频电容式传声器制备简便、性能优异,可在低频声学领域中得到广泛应用。
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