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本文分析了平面型真空微电子三极管的结构设计,利用微电子工艺制作了全硅化的平面型真空微电子管,并对实验结果进行了分析。
平面型真空微电子三极管的工艺研究
【摘 要】
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本文分析了平面型真空微电子三极管的结构设计,利用微电子工艺制作了全硅化的平面型真空微电子管,并对实验结果进行了分析。
【机 构】
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中国南京东南大学微电子中心;
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(69476031)
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