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On the characteristics of plasma sources for the next generation plasma processing
【机 构】
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DepartmentofPhysics,KoreaAdvancedInstituteofScienceandTechnology(KAIST)373-1,Kuseong-dong,Yuseong-gu
【出 处】
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9th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technology
【发表日期】
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2008年10期
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