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晶硅基底的反射系数较高，使得入射光的反射率达到40％，严重影响了单晶硅基底的光学及光电学器件的性能，例如太阳能电池、显示器、光学传感器等[1-4]。为了提高这些器件的性能，需要降低单晶硅基底表面反射光的损失。
仿生抗反射硅纳米柱阵列的制备及其光学性能
【摘 要】
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晶硅基底的反射系数较高，使得入射光的反射率达到40％，严重影响了单晶硅基底的光学及光电学器件的性能，例如太阳能电池、显示器、光学传感器等[1-4]。为了提高这些器件的性能，
【机 构】
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哈尔滨工业大学
【出 处】
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第17届全国晶体生长与材料学术会议
【发表日期】
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2015年期
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