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本文通过分析"VICI Valco"电控多位阀阀体结构及工作原理,并对阀体结构进行密封改造,解决了电控四位、六位阀本身存在的外泄漏,并经过试验和检测,最终满足系统的泄漏率要求.
真空系统电控多位阀外泄漏解决方案
【摘 要】
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本文通过分析"VICI Valco"电控多位阀阀体结构及工作原理,并对阀体结构进行密封改造,解决了电控四位、六位阀本身存在的外泄漏,并经过试验和检测,最终满足系统的泄漏率要求.
【机 构】
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中国工程物理研究院核物理与化学研究所,成都,610003
【出 处】
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2012年无损检测技术交流会
【发表日期】
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2012年11期
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