工艺参数对电弧离子镀TiCN薄膜力学性能的影响

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汽车生产中90%以上的零部件是依靠模具形成,其中冲压模具约占80%以上,随着国内外日益激烈的汽车市场竞争,为满足汽车零部件高强度、高质量和大批量的生产趋势,目前对模具的整体相关质量要求不断提升,通过表面强化处理技术在模具表面镀制硬质薄膜提高其硬度与耐磨性是一种经济有效的方法。为了改善汽车冲压模具的综合使用性能,本论文采用电弧离子镀在Cr12MoV基体上沉积TiCN薄膜,研究了脉冲偏压、气体总流量和CH4与N2流量比对薄膜硬度、厚度和结合力的影响,并用正交实验法分析其影响规律。结果表明:脉冲偏压对薄膜性能的影响最大,气体总流量次之,CH4与N2流量比的影响最小;薄膜厚度随脉冲偏压的增大而减小,结合力随脉冲偏压的增加先增大后减小,硬度受脉冲偏压与CH4、N2流量比的影响显著,其中TiCN薄膜最高硬度为3715HV0.025。
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