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Influence of Ion Beam Assisted Bombardment on Growth Behavior of CrN Coatings by Magnetron Sputterin
【机 构】
：
Research Institute of Surface Engineering, Taiyuan University of Technology, Taiyuan, 030024, China
【出 处】
：
The 11th International Workshop on Plasma-Based Ion Implanta
【发表日期】
：
2011年期
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