【摘 要】
：
本文介绍了一种双质量块音叉式硅微陀螺,通过将两个完全相同的全解耦结构进行并排复制和耦合梁的巧妙布置,实现了全解耦形式的音叉式硅微陀螺结构设计.该型硅微陀螺采用键合
【机 构】
：
中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所,中国西安,710065
【出 处】
：
第十四届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
本文介绍了一种双质量块音叉式硅微陀螺,通过将两个完全相同的全解耦结构进行并排复制和耦合梁的巧妙布置,实现了全解耦形式的音叉式硅微陀螺结构设计.该型硅微陀螺采用键合后刻蚀工艺(BDRIE)加工而成,通过圆片级封装工艺技术,实现了高真空度密封,品质因数优于15万.硅微陀螺外围电路采用数模混合集成电路实现,保证了陀螺形态的紧凑.其中驱动模态采用闭环控制方案,检测模态采用开环检测方案.经测试,该型硅微陀螺的零偏不稳定性优于0.66°/h,刻度系数非线性优于100ppm.得益于双质量块的结构形态,其加速度灵敏度优于12.3°/h/g.
其他文献
本文介绍了一种利用软件实现热式风速风向传感器恒温差模式(CTD)控制的方案.传感器系统采用单片机作为主控单元,对芯片温度和环境温度进行采样,并以此为依据调节输出功率,从
随着物联网的发展,大规模传感器部属已成为趋势.其中,气体传感器节点应具有功耗低、稳定性好以及网络化等特点.本文针对微热板低功耗和快速热响应的特点,结合物联网应用需求,
气味检测与识别在食品安全、环境监测和缉毒搜爆中发挥重要作用.哺乳动物嗅觉系统有着高灵敏性和特异性,可作为进行气味识别和检测的传感器.为了能在实际场景中应用,还需要能
根据朗伯-比尔定律及扩散传输理论,设计了一套基于光纤光谱仪的反射式血氧饱和度检测方案.该方案在对反射式血氧饱和度检测方法进行理论研究的基础上,利用海洋光学USB2000+光
本研究通过混酸液相氧化法向多壁碳纳米管(MWCNTs)材料中中引入羧基,从而增加MWCNTs的结合位点,提高MWCNTs的电催化功能.并借助扫描电镜与傅里叶红外光谱表征得到验证.将羧基
科氏质量流量传感器的结构参数设计在提高其测量性能中起到重要的作用.但由于制造误差的存在,科氏质量流量传感器的结构参数并不能精确获得,存在一定的不确定性.基于科氏质量
焊接热效应对压力敏感元件的性能影响较大,若前期能对其预测分析,可为产品的结构设计及焊接方法选择提供数据支持.本文基于SYSWELD焊接仿真平台,建立压力敏感元件的三维有限
确保在火灾发生初期就能及时发现火情,把火灾消灭在萌芽状态,实现火灾极早期探测报警,这是目前亟待解决的一个重大问题.本文采用RS485总线,结合烟雾探测模块、CO检测模块、报
电场是表征电力设备状态的一个重要的电气参量,通过一定的理论仿真研究和实测验证:通过无线电场测量技术监测电力设备周围的电场,根据测量到的电场分布可以达到非接触式的对
网格状电极制作是湿度敏感芯片制作工艺的难点.为了提高湿度敏感芯片的响应时间,要求网格状电极金属线条尺寸达到微米级.本文利用LOR/PMGI胶的特性,研究了PMGI双层胶图形化工