光微机电系统作为微机电系统的重要分支，包括可调激光器、可调滤波器、可变光衰减器、可编程光分/插复用器件、光开关、光连接器和光补偿器等等以及由这些器件集成的光微系统.很多这些器件已经得到工业应用.随着未来光电子器件的多功能化、小型化、集成化以及光通信技术的发展，光微机电系统将得到进一步的发展.然而，目前的光微机电系统并没有把很重要的光源部分真正地集成到一个器件上.因为作为光微机电系统的主要载体材料的单晶Si 本身并不是直接半导体，发光效率低下而不能作为光源使用.另一方面，半导体发光器件包括半导体激光器等由于其价格低廉、轻便、电光转化效率高、长寿命以及易于集成等优点而得到广泛研究与开发应用.作为带隙可调的氮化物半导体是目前国际研究的热点.通过改变不同含量的In、Ga、Al 的氮化物具有从0.63-6.2eV 的连续禁带宽度，可以用来制备紫外、可见光以及光通信用发光器件.因此把具有连续波长分布的氮化物发光器件集成到硅基光微机电系统从而制备新型光微系统或光电子器件成为一个具有广阔研究前景的新研究领域.本文以分子束外延设备在单晶硅基板上生长的氮化物半导体为原材料，利用硅微加工技术制备悬空自支撑氮化物谐振光子光栅、可变光分布器件和微纳扫描仪，并讨论其光电等物理性能.