【摘 要】
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本文在传统的RF-PCVD设备上采用磁约束增强技术,在玻璃上低温沉积(小于150℃)出优质无色透明类金刚石保护膜(Diamond-like Carbon,DLC).膜/基可见光透光率高(大于90﹪),有相当
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本文在传统的RF-PCVD设备上采用磁约束增强技术,在玻璃上低温沉积(小于150℃)出优质无色透明类金刚石保护膜(Diamond-like Carbon,DLC).膜/基可见光透光率高(大于90﹪),有相当高的硬度(HV9~11GPa),膜层抗划伤性好(抗19.6N戒刀刀尖刻划),耐紫外线辐射.
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