【摘 要】
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采用第一性原理计算方法研究了不同含量Al掺杂(1.56～6.25at.％)对类金刚石薄膜结构与性能的影响，重点考察了薄膜中残余应力的变化和Al掺杂导致应力降低的物理机制.结果表明：随
【机 构】
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中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室、浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,中国科学院宁波材料技术与工程研究所,浙江宁波 315201
【出 处】
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第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛
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采用第一性原理计算方法研究了不同含量Al掺杂(1.56～6.25at.％)对类金刚石薄膜结构与性能的影响，重点考察了薄膜中残余应力的变化和Al掺杂导致应力降低的物理机制.结果表明：随着Al掺杂含量的增加，薄膜中的残余应力逐渐降低，与实验结果相吻合.进一步的原子键结构分析表明：弱的Al-C键的形成和畸变结构中C-C键长的弛豫是Al掺杂导致残余应力降低的主要原因，从而为实验现象提供了很好的理论解释和补充.
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