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H掺杂ZnOAl透明导电薄膜的制备及性能研究
【机 构】
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深圳大学材料学院深圳市特种功能材料重点实验室518060
【出 处】
：
第五届届全国氧化锌学术会议
【发表日期】
：
2011年11期
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