【摘 要】
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铝酸锌是一种具有立方尖晶石结构的宽禁带半导体材料,带隙为3.8 eV,稀土和过渡族元素掺杂的铝酸锌作为高效率的荧光粉材料,已经在发光和显示领域得到广泛应用.国内外一些
【机 构】
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南开大学物理科学学院,天津市南开区卫津路94号,天津300071
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铝酸锌是一种具有立方尖晶石结构的宽禁带半导体材料,带隙为3.8 eV,稀土和过渡族元素掺杂的铝酸锌作为高效率的荧光粉材料,已经在发光和显示领域得到广泛应用.国内外一些研究机构已经用喷雾热解法[1],溶胶-凝胶法[2],水热法[3]等研制出铝酸锌粉末或薄膜,但是用原子层沉积(ALD)生长铝酸锌薄膜的报道并不多见.ALD能够通过逐个原子层沉积方法精确调控薄膜的组分,具有大面积均匀性和优异的台阶覆盖性.本研究通过精确控制原子层比例生长了ZnO/A12O3纳米复合层状薄膜,经高温退火成功合成了ZnAl2O4薄膜.
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