论文部分内容阅读
应用STM、AFM、SEM对超精密加工表面进行检测的对比研究
【机 构】
：
滨工业大学
【出 处】
：
中国机械工程学会超精密加工技术学术交流会
【发表日期】
：
1997年期
其他文献
该文提出了断续切削的概念，在介绍ＣＪＣ－１型超精密车削装置的基础上，分析了影响断续切削加工精度的因素，同时也分析了断续切削时刀具的耐用度，认为切削过程中切削力的波动是最根本的影响
论述了光栅技术在超精密加工和超精测量中应用的可行性，比较了光栅技术和激光干涉技术的优缺点。从光栅技术的发展历史，总结出光栅技术发展的趋势，为进一步提高光栅系统的性能指
“可可西里”rn“可可西里”是蒙古语,意为“美丽的少女”.这片无人区位于青藏高原西北部,平均海拔5 000多米,面积8.3万平方千米,是国家一级保护动物--藏羚羊最后的栖息地.19