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本文介绍了基于消逝场原理，利用SU-8光刻胶制备检测溶液或血液中NaCI含量的马赫-曾德尔干涉仪型(MZI)导波光学生物传感器。分析了为满足传感需要的波导结构设计，通过控制SU-8折射率使其可作为波导芯/包层并制作了器件，得到了较好的近场输出光斑。
基于SU-8材料的波导生化传感器
【摘 要】
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本文介绍了基于消逝场原理，利用SU-8光刻胶制备检测溶液或血液中NaCI含量的马赫-曾德尔干涉仪型(MZI)导波光学生物传感器。分析了为满足传感需要的波导结构设计，通过控制SU-8折
【机 构】
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集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区,吉林大学电子科学与工程学院,长春130012
【出 处】
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第五届全国塑料光纤、聚合物光子学会议
【发表日期】
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2009年8期
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