【摘 要】
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金属氧化物薄膜晶体管(MO-TFT)驱动有源发光二极管(AMOLED),通常需要对驱动管进行电路补偿.模拟结果发现越小的器件寄生电容,电路补偿效果越好.优选了顶栅自对准的器件结构进
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金属氧化物薄膜晶体管(MO-TFT)驱动有源发光二极管(AMOLED),通常需要对驱动管进行电路补偿.模拟结果发现越小的器件寄生电容,电路补偿效果越好.优选了顶栅自对准的器件结构进行了工艺开发,取得了理想的器件特性.通过AMOLED测试面板的点屏验证,确认了测试结果符合模拟结果,为后续氧化物面板驱动AMOLED指明了开发方向.
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