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以甲基三氯硅烷(MTS)为原材料,经过化学气相沉积工艺在碳/碳复合材料基体上制备多层沉积SiC,对比采用石墨纸基体的空白试样。本文重点分析沉积SiC的微观结构,包括表面结构与切面结构,确认沉积SiC的两级颗粒结构。在此基础上,通过EDS分析确认沉积多层SiC在不同沉积层C与Si的比例的不同；SiC与基体碳具有良好化学相容性。最后,采用氧乙炔试验表征涂层材料的烧蚀性能。