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该文报道了所研制的的Waveguide-surfatron激发的表面波等离子体源的特性，理论计算表明，激发表面波模式为m≥模，在放电室中电磁场均匀性与等离子体的密度有关。实验结果指出，采用Ar气放电，在气压为10-1000Pa，微波功率小于1000w范围内可形成大面积（直径为160mm），在体积均匀等离子体，其电子温度为1-4eV，等脑子体密度为10<10>cm<-3>，实测的等离子体密度值与理论计算的值基本相吻合。