SOLT校准片的研制与参数提取技术的研究

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本文设计制作了用于在片测试系统校准的陶瓷衬底的SOLT校准片,并研究了5GHz~26.5GHz频段内测试结果与模型迭代逼近提取校准片参数的技术。片上负载的电阻及电感参量被提取出来,电阻分量约为45欧姆,需要进一步激光调阻、模型优化和软件修正以达到实用化的水平。
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