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本文用扫描开尔文探针显微镜(SKPM)在具有相分离结构的磁控溅射铜铅合金样品上进行测量分析,得到了合金薄膜的表面形貌和与微观组份分布相关的表面电势差信息.运用SKPM技术分析了铜晶粒对合金中粒子生长的影响.该分析方法无需复杂的样品制备过程,不会破坏样品,对于宏观上具有确定组分的微观相分离样品,可以由表面电势差像得到不同相的微区分布.比其它常规的分析手段有更高的分辨率、能获得更多的材料微区结构、组份与性能间关系的信息.