【摘 要】
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在大气压空气中实现介质阻挡辉光放电具有极广阔的应用前景。目前,大部分研究只能在大气压空气条件下实现短间隙内的辉光放电,却无法实现电极表面的大面积辉光放电。因此,本研究通过研究大气压表面辉光放电等离子体的生成特性,设计了一种开敞接触式介质阻挡放电（DBD）结构。在大气压空气环境条件下于电极外表面形成了稳定的扩散型辉光放电等离子体。通过使用ANSOFT MAXWELL 3D电磁场仿真软件对该结构下的电
【出 处】
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第十八届全国等离子体科学技术会议摘要集
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在大气压空气中实现介质阻挡辉光放电具有极广阔的应用前景。目前,大部分研究只能在大气压空气条件下实现短间隙内的辉光放电,却无法实现电极表面的大面积辉光放电。因此,本研究通过研究大气压表面辉光放电等离子体的生成特性,设计了一种开敞接触式介质阻挡放电（DBD）结构。在大气压空气环境条件下于电极外表面形成了稳定的扩散型辉光放电等离子体。通过使用ANSOFT MAXWELL 3D电磁场仿真软件对该结构下的电场分布进行仿真分析,结果表明该结构在1000V以下的较低放电电压下便能产生合适的畸变场强,使辉光放电等离子体由电极间的小缝隙逐步向外发展,最终在电极外侧也产生了覆盖在电极表面的等离子体,使大气压空气环境下的大面积表面等离子体处理应用成为可能。通过放电实验讨论了电极间距、电极夹角以及电极材料对放电特性影响。为了在实际应用中能够产生大面积稳定的表面辉光放电等离子体,本研究设计了单侧DBD线并排式和螺旋式电极结构。结果表明,由于所设计的电极结构能够抑制大气压下的电场强度且有效增加二次电子数量,并通过抑制电子崩的发展强度实现了大气压空气环境下的辉光放电。同时由于放电电压低（小于1000V）,因此该电极还具有臭氧生成量小、功耗低等优点。此外,开敞式结构有利于等离子体的扩散,因此形成了大面积稳定的电极外表面辉光放电等离子体区域。该研究在医学、生物学、材料学、环境科学等诸多领域的应用都将具有重要意义。
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