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该文通过对采用〈２１１〉生长方向大直径锑化铟单晶的分析，详细给出了锑化铟晶片杂质浓度在径向和轴向及切片方同的分布，并得到载流子浓度均匀的大直径晶片。
锑化铟单晶载流子浓度分析
【摘 要】
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该文通过对采用〈２１１〉生长方向大直径锑化铟单晶的分析，详细给出了锑化铟晶片杂质浓度在径向和轴向及切片方同的分布，并得到载流子浓度均匀的大直径晶片。
【机 构】
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光电技术研究所(北京)
【出 处】
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第十二届全国红外科学技术交流会
【发表日期】
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1996年期
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