【摘 要】
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在利用干涉仪对平面面形进行检测时,绝对检测可消除参考面面形误差,从而更加准确地得到被测面面形,其中三平面互检法是较为常用的绝对检测方法之一.在Zernike多项式前36项拟
【机 构】
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西安工业大学理学院,陕西西安710021西安工业大学理学院,陕西西安710021;西安工业大学计算机学院,陕西西安710021西安工业大学光电工程学院,陕西西安710021
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在利用干涉仪对平面面形进行检测时,绝对检测可消除参考面面形误差,从而更加准确地得到被测面面形,其中三平面互检法是较为常用的绝对检测方法之一.在Zernike多项式前36项拟合平面的基础上,对三平面互检法检测方法进行了仿真,并针对其中旋转角度误差对还原面形的影响进行了计算分析.三平面互检法检测精度达到10-16λ量级,在旋转角度误差以0.1°为步长,±1°误差范围内,角度误差分别对于3个平面的pv值和rms值影响一致,设定面形与还原面形残差的rms值随误差角度增加而增大.当角度误差为0.1°时,残差rms值为10-5λ量级;当角度误差为1°时,残差rms值为10-4λ量级.
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