Sol-gel法制备Co掺杂ZnO薄膜的性能研究

来源 :第十八届国际热喷涂研讨会(ITSS`2015)暨第十九届全国热喷涂年会(CNTSC`2014) | 被引量 : 0次 | 上传用户:sunning1002
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  用溶胶凝胶法(Sol-gel)在不锈钢基底上制备Co 掺杂ZnO 薄膜,研究热处理温度和Co 掺杂含量对薄膜红外反射率的影响。通过XRD 和紫外-可见吸收光谱分析Co 的掺杂情况。结果表明,制备的Co 掺杂ZnO 薄膜都具有ZnO 六角形纤锌矿结构,无杂质相产生。热处理温度和Co 掺杂量会影响薄膜在4~6um 波段红外反射率。随热处理温度的升高和Co 掺杂含量的增加,红外反射率先升高后降低。掺杂Co 有助于提高ZnO 薄膜的耐热性能。
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