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该文介绍硅压力传感器高低温环境动态疲劳寿命试验和静态参数标定系统。该系统可同时监测多路硅压力传感器在高温、低温或高低温循环条件下的疲劳寿命试验状态，精确确定每一试验样品的疲劳寿命次数；可按照SJ/10429-93等标准标定多路硅压力传感器的特性方程、准确度、零位漂移等静态特性参数。
压力传感器动态疲劳试验与参数标定系统
【摘 要】
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该文介绍硅压力传感器高低温环境动态疲劳寿命试验和静态参数标定系统。该系统可同时监测多路硅压力传感器在高温、低温或高低温循环条件下的疲劳寿命试验状态，精确确定每一试
【机 构】
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电子产品可靠性与环境试验研究所
【出 处】
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中国电子学会可靠性分会第九届学术年会
【发表日期】
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1998年期
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