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以金属无机盐SnCl2·2H2O和SbCl3为原料,采用溶胶-凝胶旋涂法制备掺锑氧化锡薄膜,对其晶体结构、表面形貌、光学性质和导电性进行了研究。结果表明:纯氧化锡和掺锑氧化锡薄膜均为单相四方金红石结构;氧化锡薄膜的晶格常数（a和c）和光学带隙均随锑量增加而减小;当锑量为10%（原子分数）时,薄膜的方块电阻最低。