【摘 要】
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以无机盐SnCl·2HO为主体原料、HWO为掺杂剂、无水乙醚为溶剂，采用溶胶－凝胶工艺制备了nw:nsn=1:100的WO-SnO薄膜，并对其气敏性能进行研究。实验表明，掺杂量为1℅的WO-SnO薄膜在
【机 构】
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华中科技大学物理系(湖北武汉),襄樊学院物理系(湖北襄樊)
【出 处】
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第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会及第八届全国湿度与水分检测学术交流会
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以无机盐SnCl<,2>·2H<,2>O为主体原料、H<,2>WO<,4>为掺杂剂、无水乙醚为溶剂，采用溶胶－凝胶工艺制备了nw:nsn=1:100的WO<,3>-SnO<,2>薄膜，并对其气敏性能进行研究。实验表明，掺杂量为1℅的WO<,3>-SnO<,2>薄膜在常温下对H<,2>S，NO<,x>气体具有较好 的气敏性能，对H<,2>S气体的敏感温度为100℃，对NO<,x>气体的最佳敏感温度为70℃。
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