【摘 要】
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设计了达到截止蓝光目的的膜系,并采用磁控溅射镀膜工艺,以TiO2和SiO2作为介质膜,通过优化工艺参数,在玻璃基片成功制备了具有截止蓝光特性的功能复合薄膜.用XPS表征了TiO2薄
【机 构】
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武汉理工大学硅酸盐建筑材料国家重点实验室,湖北武汉430070
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设计了达到截止蓝光目的的膜系,并采用磁控溅射镀膜工艺,以TiO2和SiO2作为介质膜,通过优化工艺参数,在玻璃基片成功制备了具有截止蓝光特性的功能复合薄膜.用XPS表征了TiO2薄膜中Ti元素价态以及化学计量比,用NKD-7000分析了薄膜的光学参数,用FTIR分析了SiO2薄膜的结构,采用FESEM分析薄膜表面形貌,用紫外-可见光谱仪测试了复合膜选择性透过的特性,分析了影响截止蓝光镀膜玻璃性能的因素.镀膜玻璃的蓝光截止率达到98％,大于蓝光波长的光谱透射率达到90％.
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