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采用磁控射频溅射在玻璃基片上制备SnO<,2>薄膜,对采用不同工艺制备的薄膜进行了XRD和常温下的膜片在CO<,2>、乙醇中的气敏光学特性与透射光谱测试。结果表明,该薄膜在常温下对测试气体有敏感效应,会引起透射光谱的变化,并且光谱透射率的变化与波长相关。
磁控射频溅射三SnO薄膜的气敏光学特性研究
【摘 要】
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采用磁控射频溅射在玻璃基片上制备SnO薄膜,对采用不同工艺制备的薄膜进行了XRD和常温下的膜片在CO、乙醇中的气敏光学特性与透射光谱测试。结果表明,该薄膜在常温下对测试气体有敏感效应,会引起透射光谱的变化,并且光谱透射率的变化与波长相关。
【机 构】
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华南理工大学物理科学与技术学院 广州 510641
【出 处】
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第三届全国光学技术交流会
【发表日期】
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2007年8期
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