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讨论了新近发展起来的微波等离子体制粉技术,用国产5kW、2450MHz的微波电源,在常压下产生2000 ̄3000℃的微波等离子体,以SiCl〈,4〉-O〈,2〉-Ar和TiCl〈,4〉-O〈,2〉-Ar为反应体系,气相氧化反应制备了SiO〈,2〉和TiO〈,2〉高纯纳米粉末。粉末产品的平均粒度30 ̄50nm,纯度在99.9℅以上,SiO〈,2〉的晶型为无定形,TiO〈,2〉是金红石民锐钛矿的混合粉末。实验系统的制备能力为300g/h。