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增加硬质镀层的厚度是提高其性能和使用寿命的有效途径之一，但离子镀镀层存在较高的残余应力，且随厚度的增加而逐渐增大，可能发生自发剥落，两者之间存在一定的关联性。为了实现超厚膜的制备，扩大硬质镀层的应用范围，有必要对硬质膜内应力进行有效调控，以提高膜基结合强度。
多弧离子镀TiN厚膜残余应力的测量和调控
【摘 要】
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增加硬质镀层的厚度是提高其性能和使用寿命的有效途径之一，但离子镀镀层存在较高的残余应力，且随厚度的增加而逐渐增大，可能发生自发剥落，两者之间存在一定的关联性。为了实现超厚膜的制备，扩大硬质镀层的应用范围，有必要对硬质膜内应力进行有效调控，以提高膜基结合强度。
【机 构】
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西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十八届年会暨中国计量测试学会真空计量专业委员会第十三届年会
【发表日期】
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2015年7期
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