电磁屏蔽层设计及其磁控溅射制备的研究

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通过传输线模型推导出多层无限大平板的屏蔽效能的计算公式,并根据公式设计了双层屏蔽层,通过多靶直流溅射制备了多种金属屏蔽膜。研究结果表明:衰减损耗是各层屏蔽效果线性相加的结果,反射损耗与各层相对位置关系无关, 层数多或各屏蔽层的反射越大,则屏蔽效果越好。采用Cu/1Cr18Ni9Ti的金属屏蔽层结构,可获得良好的屏蔽效能及耐候性, 单纯用表面阻抗来评估多层金属膜的电磁屏蔽效果并不合适。
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