【摘 要】
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高探测效率、高速的超导纳米线单光子探测器(Superconducting Nanowire Single-Photon Detector,SNSPD)在量子信息、极限灵敏度探测等领域具有应用前景.Pernice等人2012
【机 构】
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中科院上海微系统所,上海200050
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高探测效率、高速的超导纳米线单光子探测器(Superconducting Nanowire Single-Photon Detector,SNSPD)在量子信息、极限灵敏度探测等领域具有应用前景.Pernice等人2012年在硅波导上首次实现了SNSPD的制备,有望实现高速、高效SNSPD,然而硅波导的光纤耦合问题与波长选择性问题制约了波导耦合SNSPD的性能和广泛应用.微纳光纤(Microfibers and Nanofibers,MNFs)是一个新兴的光纤光学分支,它具有优良的光波导传输特性,如果将微纳光纤应用于SNSPD的光耦合,一方面可以实现从标准光纤到SNSPD器件的直接高效光耦合,提高SNSPD系统的光耦合效率；另外一方面可以减小SNSPD器件的纳米线长度,有望实现高速SNSPD器件.应用低折射率衬底是实现微纳光纤光耦合SNSPD系统的前提.本文实现了MgF2衬底(n=1.38)上SNSPD器件的制备并取得了一定性能,为下一步微纳光纤耦合SNSPD打下基础.
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