化学机械抛光(CMP)技术在存储器硬盘抛光中的应用

来源 :第七届全国摩擦学大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zmjmengm1988

【摘要】

：

随着计算机磁头与磁盘间间隙的不断减小,硬盘表面要求超光滑.化学机械抛光是目前广泛接受的全局平面化技术.本文研究了镍磷敷镀的硬盘基片在胶体SiO抛光组合物中的抛光试验,C

【作者】

：

雷红[1]雒建斌[1]潘国顺[1]屠锡富[2]方亮[2]司马能[2]

【机构】

：

清华大学摩擦学国家重点实验室(北京)

【出处】

：

第七届全国摩擦学大会

【发表日期】

：

2002年期

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

随着计算机磁头与磁盘间间隙的不断减小,硬盘表面要求超光滑.化学机械抛光是目前广泛接受的全局平面化技术.本文研究了镍磷敷镀的硬盘基片在胶体SiO<,2>抛光组合物中的抛光试验,Chapman MP2000<+>表面形貌仪测得表面平均粗糙度(Ra)和波纹度(Wa)分别为0.55A及0.90A,为迄今报道的硬盘抛光的最低值.原子力显微(AFM)发现获得的基片表面非常光滑平整,表面近无划痕、凹坑、点蚀等表面缺陷.

其他文献

C<,3D>/Ep复合材料摩擦磨损性能研究

制备了三维编织碳纤维增强环氧树脂复合材料.研究了在PBS润滑条件下载荷和速度对摩擦磨损性能的影响.本文还讨论了复合材料的摩擦磨损机理.

会议

环氧树脂复合材料摩擦磨损性能摩擦磨损机理碳纤维增强三维编织润滑条件载荷

云计算环境下嵌入式馆员的创新自我效能感探析

文章将创新自我效能感理论引入嵌入式馆员的服务创新研究中,探析创新自我效能感对馆员融入教学过程、嵌入科研用户和学习共享空间等工作绩效的影响和发挥,提出优化服务创新环

期刊

云计算嵌入式馆员创新自我效能感服务创新

耳穴压豆治疗高血压病疗效观察

高血压是以体循环动脉压增高为主要表现的临床综合征，本病病因尚未完全阐明，目前认为是在一定的遗传基础上由于多种后天因素的作用，正常血压调节机制失代偿所致。为探索高血压病

期刊

耳穴压豆法治疗高血压病血压调节机制体循环动脉压遗传基础硝苯地平外治疗法疗效满意后天因素失代偿证明临床口服病因

眼部整形美容术后冷疗法的临床研究

目的：研究冷疗法在眼部整形美容术后的应用情况。方法抽取我院于2011年9月至2013年9月期间行眼部整形美容手术患者38例，将患者随机均分为两组，对照组行常规治疗，观察组在对照组的

期刊

眼部整形美容冷疗法

TBD620系列柴油机的发展与现状

本文介绍了TBD620系列柴油机的主要技术参数、性能特点、结构特点及应用范围,并叙述了作者对620系列机型研究发展的认识.

会议

柴油机技术性能结构特点

四零四科技产品在天津地铁1号线信号控制系统中的应用

1 应用简介地铁一号线工程总投资为68.95亿元,其中静态投资达65_3亿元。该线路从刘园至双林全长26.195公里,其中地下线路13.915公里。线路共设车站23座;车辆段、停车场各1处;

期刊

主变电所地下线路斩波调压天津地铁直流传动牵引变电所信号控制系统列车自动控制电动客车直流供电

静脉注射丙种球蛋白无反应性川崎病的相关因素、治疗及临床分析

目的：分析静脉注封免疫球蛋白（IvI）G 无反应型川崎病的临床特点，探讨 IvGI 无反应型川崎病危险因素及其治疗。方法对238例川崎病患儿进行回顾性分析。结果IVIG 无反应型川崎病37

期刊

川崎病IVGI无反应型危险因紊

临床医学专业《人体解剖学》教学中结合人文教育的必要性

随着医学技术快速发展，人们对医学及其人文性的思考越来越多，对于生命的思考越来越深刻。人体解剖学不仅是临床医学专业的医学生的基础课程，也是医学人文精神的课堂。本文将就临

期刊

人文教育人体解剖学医学人文精神

连续纤维增韧碳化硅陶瓷基复合材料

连续纤维增韧碳化硅基复合材料(SiC-CMC)可以满足覆盖长寿命、有限寿命和瞬时寿命热结构领域的应用和考核要求,如航空发动机的热端部件、航天飞机再入热防护系统和火箭发支机

会议

国产柴油机与国际法规接轨的探讨

随着中国加入世贸组织,国产柴油机同其产品一样要接受国际规则的约束.本文对船用柴油机的排放测试达标和安全防火如何与国际法接规进行了探讨.

会议

船用柴油机加入世贸组织排放测试国际规则安全防火国际法中国达标产品

化学机械抛光(CMP)技术在存储器硬盘抛光中的应用

与本文相关的学术论文