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采用直流磁控反溅射法在不锈钢真空管道内表面均匀镀上一层TiZrV薄膜。该薄膜经过激活后具有抽气效应，能够使真空管道由原来的系统气载转变成为管道泵。该薄膜激活温度很低，最低激活温度为180℃。在经过激活后，实验装置远端的真空度与泵口真空度相同，因此压力分布呈直线型。
真空室内表面镀TiZrV抽气层的性能研究
【摘 要】
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采用直流磁控反溅射法在不锈钢真空管道内表面均匀镀上一层TiZrV薄膜。该薄膜经过激活后具有抽气效应，能够使真空管道由原来的系统气载转变成为管道泵。该薄膜激活温度很低，最
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所 兰州 730000 中国科学院研究生院 北京 100049
【出 处】
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首届粒子加速器真空、低温技术研讨会
【发表日期】
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2009年期
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