【摘 要】
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本文采用无灯丝离子源结合非平衡磁控溅射的方法,在钛合金基体上制备了掺金属类金刚石(Me-DLC)膜层,利用摩擦磨损试验机对膜层进行摩擦磨损性能的研究,通过表面形貌仪、扫描电镜、硬度计、划痕仪等手段对膜层的摩擦磨损结果进行表征及分析探讨.结果表明:经表面类金刚石涂层处理后,对基体材料起到有效的抗磨减摩作用;特别是掺钨类金刚石膜,膜层的硬度及膜/基结合强度高,抗磨损性能佳,更适合于易磨损器件的表面改性
【机 构】
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广州有色金属研究院,广东,广州,510651 中南大学材料科学与工程学院,湖南,长沙,410083
【出 处】
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第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛
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本文采用无灯丝离子源结合非平衡磁控溅射的方法,在钛合金基体上制备了掺金属类金刚石(Me-DLC)膜层,利用摩擦磨损试验机对膜层进行摩擦磨损性能的研究,通过表面形貌仪、扫描电镜、硬度计、划痕仪等手段对膜层的摩擦磨损结果进行表征及分析探讨.结果表明:经表面类金刚石涂层处理后,对基体材料起到有效的抗磨减摩作用;特别是掺钨类金刚石膜,膜层的硬度及膜/基结合强度高,抗磨损性能佳,更适合于易磨损器件的表面改性.
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