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单晶硅生长技术研究进展
单晶硅生长技术研究进展
被引量 : 0次 | 上传用户:angelasun
【摘 要】
:
综述了单晶硅生长技术的研究现状。对改良热场技术、磁场直拉技术、真空高阻技术以及氧浓度的控制等技术进行了论述。
【作 者】
:
蒋娜
袁小武
张才勇
【机 构】
:
峨嵋半导体材料研究所;
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
单晶硅
真空高阻
磁场
氧含量
氮掺杂
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综述了单晶硅生长技术的研究现状。对改良热场技术、磁场直拉技术、真空高阻技术以及氧浓度的控制等技术进行了论述。
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