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薄膜应力普遍存在于薄膜器件中，薄膜应力对薄膜材料的综合性能有很大的影响，直接影响着薄膜材料的稳定性和可靠性。因此对于设计和优化多层薄膜复合材料的整体性能，控制薄膜材料的残余应力是非常重要的。本文通过模拟计算一种在有机玻璃衬底上沉积的ITO薄膜的应力状态，分析和讨论薄膜应力的产生原因和形成过程，指出控制多层薄膜薄膜应力的方法和途径，并对生产实践提供一定的理论支持。本文借鉴前人总结的经验，结合自己的工作，对今后薄膜应力的研究的方向和重点做出了展望。