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采用电子束高频扫描技术对TC4钛合金表面进行处理。分别调整扫描次数、扫描频率、束流等工艺参数，将经过不同工艺处理的TC4钛合金，分别检测了表面硬度、表面组织、硬化层深度、硬化层内部组织。研究结果表明：束流、扫描频率一定时，随着扫描次数增大，处理区域的表面硬度先增大到400Mpa以上，扫描次数再继续增加，处理区域的表面硬度逐渐减小，晶粒增大；单位时间内，其它工艺参数不变时，随着扫描频率减小，表面硬度逐渐降低到母材硬度以下。