【摘 要】
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磁选态铯原子频标的关键器件是电子倍增器.其原理是通过材料的表面二次电子发射将铯离子信号进行放大，进而检出铯束偏转信号.MgO具有较好的二次电子发射能力而被广泛采用.制备MgO薄膜方法很多，包括高温氧化法，蒸发沉积，脉冲激光沉积和金属有机化学气相沉积等.为了提高其二次电子发射能力和降低工作电压，在MgO中掺杂其它元素是被认为是很好的方法.本文研究利用磁控溅射技术沉积Ti掺杂MgO薄膜.采用金属Ti和
【机 构】
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西安交通大学 物质与非平衡教育部重点实验室,陕西西安 710049
【出 处】
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第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议
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磁选态铯原子频标的关键器件是电子倍增器.其原理是通过材料的表面二次电子发射将铯离子信号进行放大，进而检出铯束偏转信号.MgO具有较好的二次电子发射能力而被广泛采用.制备MgO薄膜方法很多，包括高温氧化法，蒸发沉积，脉冲激光沉积和金属有机化学气相沉积等.为了提高其二次电子发射能力和降低工作电压，在MgO中掺杂其它元素是被认为是很好的方法.本文研究利用磁控溅射技术沉积Ti掺杂MgO薄膜.采用金属Ti和MgO陶瓷作为溅射靶材，在Ar气氛中磁控共溅射沉积Ti：MgO薄膜.利用XRD测试了薄膜结构，沉积的薄膜为MgO(100)和(110)取向，没有与TiO2相关的衍射峰出现.XPS谱和EDS谱显示了薄膜的掺杂效果.两种方法测试的Ti/Mg比例相一致.SEM显示薄膜为粒径约200-300nm的多晶体构成.沉积了9个Ti掺杂MgO薄膜样品，组装成电子倍增器，测试了电子倍增器性能.电子倍增器的放大倍数与非掺杂的相当.正在进一步优化沉积参数，以制备合适的Ti掺杂MgO二次电子发射薄膜，有效降低倍增器的工作电压.
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