【摘 要】
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高品质光学元器件在光传输、光电子学等领域具有重要的应用价值,亚纳米级超光滑表面的制造是制约其广泛应用的瓶颈.目前对亚纳米级超光滑表面制造过程中纳米颗粒的行为及其与
【出 处】
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第十二届设计与制造前沿国际会议(ICFDM2016)
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高品质光学元器件在光传输、光电子学等领域具有重要的应用价值,亚纳米级超光滑表面的制造是制约其广泛应用的瓶颈.目前对亚纳米级超光滑表面制造过程中纳米颗粒的行为及其与被加工表面原子、分子间的作用规律还缺乏深入了解,有待于进一步探索研究.本项目提出利用纳米颗粒显著的表面效应和化学吸附能力,借助紫外光场的光催化作用,诱导胶体射流中纳米颗粒与工件表面间的界面反应,实现工件材料的亚纳米尺度可控去除,为亚纳米级超光滑表面制造提供理论支持.
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