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MOCVD法生长氧化锌薄膜的特性研究
MOCVD法生长氧化锌薄膜的特性研究
来源 :中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:stat2009
【摘 要】
:
根据GaN材料及蓝光发光管研制和生产的经验,MOCVD法可能更适合工业化生产和制作光电器件,因此,我们选取MOCVD方法进行ZnO薄膜的制备研究.
【作 者】
:
杜国同
【机 构】
:
吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区(长春)
【出 处】
:
中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议
【发表日期】
:
2003年期
【关键词】
:
氧化锌薄膜
工业化生产
制备研究
光电器件
发光管
制作
选取
蓝光
经验
方法
材料
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根据GaN材料及蓝光发光管研制和生产的经验,MOCVD法可能更适合工业化生产和制作光电器件,因此,我们选取MOCVD方法进行ZnO薄膜的制备研究.
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