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介绍缩小投影电子束曝光系统中的标记信号检测及对准的方法与步骤.掩模版上的标记经电子束照射后成像于硅片上,使此标记像扫描硅片上的相应标记,检测由此产生的背散射电子信号确定对准位置.
缩小投影电子束曝光机中的标记信号检测与对准
【摘 要】
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介绍缩小投影电子束曝光系统中的标记信号检测及对准的方法与步骤.掩模版上的标记经电子束照射后成像于硅片上,使此标记像扫描硅片上的相应标记,检测由此产生的背散射电子信
【机 构】
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中国科学院电工研究所(北京)
【出 处】
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第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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2001年期
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