离子轰击对硒化锌光学薄膜性能的影响

来源 :’94秋季中国材料研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:windtree
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期刊
用Xe离子轰击Ti合金表面Pd镀层,形成Pd-Ti表面合金。电子能谱分析表明:Pd在表层分布较注入均匀;表层由Ti、Pd及其氧化物、氮化物等组成,近表面以TiO[*v2*]为主,形成钝化膜,Pd/Ti比较
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