【摘 要】
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本研究采用多弧离子镀技术在高速钢表面制备TiN/AlN纳米多层膜,并对TiN/AlN纳米多层膜的表面形貌、组织结构进行了分析,对TiN/AlN纳米多层膜的调制机构进行了表征.通过对薄膜显微硬度的测试发现,纳米多层膜的显微硬度明显高于单层薄膜的显微硬度,可见,TiN/AlN纳米多层膜具有明显的超硬效应.
【机 构】
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武汉科技大学材料与冶金学院,武汉,430081
【出 处】
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2006北京国际材料周暨中国材料研讨会
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本研究采用多弧离子镀技术在高速钢表面制备TiN/AlN纳米多层膜,并对TiN/AlN纳米多层膜的表面形貌、组织结构进行了分析,对TiN/AlN纳米多层膜的调制机构进行了表征.通过对薄膜显微硬度的测试发现,纳米多层膜的显微硬度明显高于单层薄膜的显微硬度,可见,TiN/AlN纳米多层膜具有明显的超硬效应.
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