磁控溅射制备Zr-Nb-N纳米结构涂层及其性能研究

来源 :第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huangcui8
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  本文采用反应共溅射方法制备出一系列不同Nb含量的Zr-Nb-N纳米结构涂层,并研究了Nb掺杂对涂层元素组成、组织结构、力学性能以及抗氧化性能的作用规律及机制.采用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)对涂层微观结构、成分及形貌进行分析.X射线衍射分析显示,ZrN中Zr原子被Nb原子取代,形成固溶体结构,且Zr-Nb-N涂层不受Nb掺杂含量的影响均呈现出(200)择优取向生长特征.当Nb含量由0增加至2.0 at.%时,涂层晶粒尺寸由32.3±1.9 nm减少至24.2±2.1 nm,表明Nb元素的引入对涂层起到了晶粒细化作用.扫描电镜分析表明,随着Nb元素掺杂量增加,Zr-Nb-N涂层均具有致密的柱状晶结构特征,属于Zone T结构.利用纳米压痕测试Zr-Nb-N涂层的纳米硬度,测试结果表明随着Nb掺杂量增加,涂层硬度由23.9±0.7 GPa逐渐增加至28.4±0.5 GPa,归因于固溶强化及细晶强化机制.划痕实验表明,随着Nb含量增加,涂层膜基结合力由9.3±0.2 N增加至12.7±0.2 N,添加Nb元素可以提高Zr-Nb-N涂层的膜基结合力.经过650℃、2 h高温氧化,微观结构研究表明氧化层具有两相分层结构,即氧化层外层为m-ZrO2,而其内层则为t-ZrO2.此外,掺杂Nb元素可以增强t-ZrO2的相稳定性,抑制t-ZrO2向m-ZrO2相的转变.0.7 at.%Nb掺杂量的Zr-Nb-N涂层能够有效提高涂层抗氧化性能,而过量的Nb掺杂量将导致涂层抗氧化性能下降.
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