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本文系统研究了TiN在310S基体表面化学气相沉积过程,并通过环己烷常压高温裂解实验探讨了TiN涂层对表面结焦的影响.SEM结果表明当沉积温度为750℃和800℃时TiN涂层呈现出小五角星形与瘤状晶体相间的微观形貌;当沉积温度为850℃时,TiN涂层则表现为五角星形与扁豆状晶体相间的微观形貌;当沉积温度为900℃和950℃时,TiN涂层的微观形貌转变成不规则排列的多面体晶体.